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真空泵 在中国的广泛应用

时间:2018-08-30 | 来源:霍立克电气

中国生 产真空泵的厂家很多。通过对 全球真空泵市场的分析我们可以看出,各类真 空泵的市场及应用领域都在不断变化和发展。中国真 空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础,国产真 空泵已经在各个不同领域得到应用并经过验证,有些泵还出口国外,得到国 外用户的认可并受到好评,应该说 中国真空泵制造业在国内外市场仍然有着巨大的发展空间。

1.液环泵

虽然液 环泵属于粗真空泵,但在中国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等 领域仍然有着很大的市场。在国外,液环泵 的销售额占全部真空泵市场的14%,仅次于干泵,所以Nash、Seimems和Kinney等公司 都在中国投资建厂或建立销售网络,不断扩 大在中国的市场份额。由于液 环泵大部分是铸件,加工要求也不高,属劳动密集型产品,所以国 产液环泵在价格上有竞争优势,关键是要改进设计,缩小体积,减轻重量,提高效率,降低能耗。

2.滑阀泵

由于滑阀泵比较耐用、可靠,国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等 设备都是用滑阀泵作为前级泵,但是滑阀泵铸件重,加工工作量较大,所以国 外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。为了使 国产滑阀泵能够进入国际市场,必须进 一步降低泵的振动噪声,杜绝喷油和漏油,提高滑 阀泵长期运行的可靠性。

3.直联旋片泵

随着真 空技术在各个应用领域的不断扩大,直联旋 片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多,加工装配工作量很大,价格又很低,所以有 的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中 小型直联旋片泵在技术上已经过关,价格又 远比国外的泵便宜,所以国 产泵仍然有竞争优势,关键是 要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题,确保直联泵在高速、高温下 性能稳定和运行可靠,同时还 要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。

4.罗茨泵

从国外 罗茨泵生产情况来看,国外几家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他们各 家罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的比例都没超过5%,这5家总计才20%,罗茨泵产量不大,但国外 罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。目前,国内外 几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统,为了缩短抽气时间、提高生 产效率都配有罗茨泵,所以国 产罗茨泵一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场,这样就 必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声,彻底解 决轴封漏油问题,改进泵的外观质量,提高泵 内的光洁度和清洁度。另外,还要考 虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz,更要确 保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性。

目前,国内气 冷式直排大气罗茨泵进展很快,技术上已经成熟。由于这 种泵在排气口的下面装有气体冷却器,其中一 部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子,从而使 压缩热得到平衡,所以这 种泵可以直排大气。为了满 足不同极限真空度的要求,这种泵可以串联使用,一般前 面加一台气冷式直排大气罗茨泵,所达到 的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵 由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。目前,这种气 冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航 天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验,所以应 该在国内大力推广和应用。

5.分子泵

分子泵 在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置 都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。

由于分 子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分 子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在 分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气 体则由分子泵抽走。这种低 温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高 了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产 业和科学研究事业迅速发展,分子泵 应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵 要从小到大建立完整系列,并研究 开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足 不同场合的需要。

6.干泵

国外干 泵市场的不断增长,其主要 驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体 行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用 干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提 高了产品的性能和质量。为了满 足不同应用领域和不同工况的要求,国外有 多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式 活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。据统计,目前国 产干泵的应用还不足1%,国内半 导体工业用的干泵全部从国外进口,其价格十分昂贵。所以,中国应 大力研究开发干泵,使干泵 成为中国真空工业新的经济增长点。


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